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차세대융복합나노분석시스템

Home 선도연구장비차세대융복합나노분석시스템 장비활용내용

차세대융복합나노분석시스템

장비소개

오염 없는 소재 / 소자의 제작 및 분석이 가능한 8종의 공정장비와 7종의 첨단분석장비가 초고진공 이송시스템으로 연결되어, 미래 친환경 나노 소재 / 소자 산업의 체계적 지원 및 대학과 연구소의 NT-BT-IT 융합연구의 기반이 되는 국가적 공동 활용 연구장비로 운영 중 입니다.

장비특성

  • 공정장비로 제작된 금속 / 산화물 / 반도체 나노소재의 물성(성분, 구조, 형태, 전기적 특성) 분석을 시료의 공기 노출 없이 이루어짐
  • Recipe 기반의 자동화 공정장비와 실시간 분석이 가능한 분석시스템
  • 공기 노출 없이 소자제작이 가능하며 저온 / 고온에서 전기적 특성분석 수행 가능

대표연구성과

그래핀 사용화 걸림돌인 나노주름 원인 밝힘

그래핀은 고온(1,000 ℃)에서 합성 되는데, 냉각 과정에서 팽창하는 독특한 성질을 지니고 있어 냉각 중 수축하는 구리와 그래핀 사이에 스트레스(응력)가 발생하게 되고 그 영향으로 구리 표면이 물결모양으로 변화하고 그래핀에 나노주름이 형성됨을 발견함. 라만분광법을 통해, 합성하는 그래핀의 층수가 많아질수록 구리표면의 물결모양이 넓고 깊어지며, 나노주름 이 없는 경우 그래핀의 전기적 특성이 더 우수함을 원인과 함께 밝힘

그래핀 합성시, 구리와 그래핀 사이에 스트레스 (응력) 발생으로 인해 구리 표면이 물결모양 으로 변화하고 그래핀에 나노주름이 형성됨을 원자힘 현미경과 라만 분광기로 확인

장비활용 대표 우수논문

  • High-Efficiency Solution-Processed Inorganic Metal Halide Perovskite Light-Emitting Diodes
    H.C.Cho, C.Wolf, J.S.Kim, H.J.Yun, J.S.Bae, H.Kim, J.-M.Heo
    S.ahn, T.-W.Lee. Adv. Mater. 2017. 1700597. DOI: 10.1002/adma.201700579
  • Triangular black phosphorus atomic layers by liquid exfoliation
    S.Seo, H.U.Lee, S.C.Lee, Y.S.Kim, H.Kim, J.Bang, J.H.Won, Y.Kim
    B.Park. J.Lee. Sci. Rep. 2016. 6. 23736. DOI: 10.1038/srep23736
  • Strain relaxation of graphene layers by Cu surface roughening
    J.H.Kang, J.Moon, D.J.Kim, Y.Kim, I.Jo, C.Jeon, J.Lee
    B.H.Hong. Nano. Lett. 2016. 16. 5993-5998. DOI : 10.1021/acs.nanolett.6b01578
  • Stable semiconductor black phosphorous (BP)@titanium dioxide (TiO2) hybrid photocatalysts
    H.U.Lee, S.C.Lee, J.H.Won, B.-C.Son, S.Choi. Y.Kim, S.Y.Park, H.-S.Kim, Y.-C.Lee
    J.Lee. Sci. Rep. 2015. 5. 8691. doi:10.1038/srep08691
  • Formation of Frustrated Lewis Paris in Ptx-Loaded Zeolite NaY
    H.Lee, Y.N.Choi, D.-W.Kim, M.Rahman, Y.I.Kim, I.H.Cho, H.W.Kang, J.-H.Seo, C.Jeon
    K.B.Yoon. Angewandte. Chemie. 2015. 127. 13272-13276. DOI : 10.1002/anie.201506790.
  • One-Step Synthesis of N-doped Graphene Quantum Sheets from Monolayer Graphene by Nitrogen Plasma
    J.Moon, J.An, U.Sim, S.-P.Cho, J.H.Kang, C.Chung, J.-H.Seo, J.Lee, K.T.Nam
    B.H.Hong. Adv. Mater. 2014. Vol(26). 3501-3505 DOI: 10.1002/adma.201306287
  • Photoluminescent carbon nanotags from harmful cyanobacteria for drug delivery and imaging in cancer cells
    H.U.Lee, S.Y.Park, E.S.Park, B.Son, S.C.Lee, J.W.Lee, Y.-C.Lee, K.S.Kang, M.I.Kim, Y.G.Park. S.Choi, Y.S.Huh, S.-Y.Lee, K.-B.Lee, Y.-K.Oh, J.Lee Sci.
    Rep. 2014. 4. 4665 DOI : 10.1038/srep04665
  • Innovative three-dimensional (3D) eco-TiO2 photocatalysts for practical environmental and bio-medical applications
    H.U.Lee, S.C.Lee, Y.-C.Lee, B.Son, S.Y.Park, J.W.Lee, Y.-K.Oh. Y.Kim, S.Choi. Y.-S.Lee, J.Lee. Sci.
    Rep. 2014. 4. 6740 doi:10.1038/srep06740
  • Rotated domains in chemical vapor deposition-grown monolayer graphene on Cu(111):an angle-resolved phtoemission study
    C.Jeon, H.-N.Hwang, W.-G.Lee, Y.G.Jung, K.S.Kim, C.-Y.Park, C.-C.Hwang.
    Nanoscale. 2013. Vol(5). 8210-8214. DOI: 10.1039/C3NR01700A
  • N-doped Monolayer Graphene Catalyst on Silicon Photocathode for Hydrogen Production
    U.Sim, T.-Y.Yang, J.Moon, J.An, J.Hwang, J.-Y.Seo, J.Lee, K.Y.Kim, J.Lee, S.Han, B.H.Hong, K.T.Nam.
    Energy Environ. Sci. (2013). Vol(6). 3658-3664. DOI : 10.1039/C3EE42106F

담당자 및 설치장소

  • 담당 : 윤형중 (hjyun@kbsi.re.kr / 042-865-3666)
  • 주소 : 대전 유성구 과학로 169-148 한국기초과학지원연구원 대덕본원 연구2동 179호